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如何维护保养真空镀膜机

真空镀膜机要到达理想真空，要配置真空抽气系统，那么扩散泵是真空镀膜机的抽气组件之一，为机器能运作在佳状态，对真空镀膜机抽气系统扩散泵维护保养环节。真空镀膜机扩散泵维护保养步骤，

真空镀膜机


1、在真空镀膜机运行过程中，扩散泵的冷却水畅通，停止加热后泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
2、扩散泵停止工作时，要注意的是泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
4、扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
5、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检查。如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丙酮进行擦洗，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
6、待水分挥发干以后装好泵芯，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。
7、在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维护泵，关好真空室门，数分钟后，观察真空度是否6*10的0帕，否则要进行检漏，检查连接处是否漏装密封胶圈，或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。
在真空镀膜机运行过程中，虽然维护保养扩散泵环节，但是真空镀膜机是由很多个部件组成，一个部件出现故障，直接也会影响真空镀膜机正常运行。维护保养扩散泵环节，维护其它各个部件也是缺一不可。
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