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真空镀膜生产线设备真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔体由不锈钢" target=_blank>不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。
金属在真空中加热时会变成气体而蒸发,真空蒸发就是利用此原理。处理时多在10-5Torr以下的真空中进行,金属及各种化合物都可当作被附着物质,其应用例有镜片、反射镜、塑胶零件等;但是以金属表面硬化为目的的用途则很少,主要多用于装饰性物件。
电镀填通孔技术可分为直流电镀一步法、脉冲电镀一步法及脉冲电镀两步法。
直流电镀一步法被视为用铜填充通孔的理想工艺,因为它可大限度地减少电镀槽的数量和缩短电镀生产线长度。但直流电镀铜填通孔受基板厚度的限制。对于厚度小于0.20 mm、直径为100μm的基板,搭配的设备和合适的添加剂,使用直流电镀一步法尚可实现填通孔。