磁控溅射原理:锆靶在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气),磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子,靶上加有一定的负高压,从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率,在阴极附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。 磁控溅射一般分为二种:支流溅射和射频溅射,其中支流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛,除可溅射导电材料外,也可溅射非导电的材料,同时还司进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射,常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。
合金靶材
铁钴靶FeCo、铝硅靶AlSi、钛硅靶TiSi、铬硅靶CrSi、锌铝靶ZnAl、钛锌靶材TiZn、钛铝靶TiAl、钛锆靶TiZr、钛硅靶TiSi、钛镍靶TiNi、镍铬靶NiCr、镍铝靶NiAl、镍钒靶NiV、镍铁靶NiFe等。 [1]
锆靶,铪靶,锆管靶,锆板靶,钛板靶,钛板
磁控溅射靶材:锆靶,铪靶
磁控溅射靶材种类:
金属溅射镀膜靶材,合金溅射镀膜靶材,陶瓷溅射镀膜靶材,硼化物陶瓷溅射靶材,碳化物陶瓷溅射靶材,氟化物陶瓷溅射靶材,氮化物陶瓷溅射靶材,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷溅射靶材,硅化物陶瓷溅射靶材,硫化物陶瓷溅射靶材,碲化物陶瓷溅射靶材,其他陶瓷靶材,掺铬一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化铟靶材(InP),化铅靶材(PbAs),化铟靶材(InAs)。 [2]
磁控溅射原理:
在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气),磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子,靶上加有一定的负高压,从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率,在阴极附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。磁控溅射一般分为二种:直流溅射和射频溅射,其中直流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛,除可溅射导电材料外,也可溅射非导电的材料,同时还可进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射,如今,常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。
锆管-----玻璃钢反应釜有如下优点:
1、使用寿命长,至少3年以上。
2、免维护,省却设备的维修费用及停工成本费用。
3、高工效,因锆金属导热性能强,其加热及降温速度快。5方母液、8平方换热面积,从120℃降至40℃不超过90分钟。蒸汽与冷却水可随时切换。
4、安全性能高,由于玻璃钢的柔韧性,不会像普通釜那样由于掉黏而被迅速腐蚀,产生漏液的危险。
5、耐腐蚀性能更优,能耐住气态氯及气态氢的混合腐蚀,在双甘膦及草甘膦的生产中优势更为明显。
名 称:锆管
规 格:Φ8.0—89.0(外直径)╳ 1.0—10.0(壁厚)╳ L(长)mm
状 态:退火
主要性能: 抗拉强度HB>379Mpa 导热率=0.040Cal/cm2 (可以弯成需要的形状)
应用领域:油箱盘管、壳管热交换器、热虹吸管、蒸发器、卡口加热器和人造丝丝囊、管壳式换热器,列管式换热器,加热管,管式预热器、化工设备反应釜盘管等。
例如:在蒸气压力为239000Pa,温度为373K,管中流体含5%硫酸、3%、6%硫酸钠的条件下,用锆盘管代替铅盘等,使用寿命在10年以上。
可根据用户需要制作。
锆盘管换热器:
规格;标准规格,功率有1.5KW-50KW,
形态;根据加热功率,可制成“L”型,“U” “0"型等,并可附有过热保护装置。
用途;适用于钛无法胜任的酸、碱介质中(氢氟酸除外)。
在聚合物的生产中,锆的应用是代替石墨作热交换器。锆热交换器的成本虽比石墨约高4倍,比钛约高 2倍,但它足以弥补成本费。
我们曾在多种农药设备上进行过工业锆的应用研究,如在农药反应罐中进行了锆的实际应用与挂片试验。农药水解反应的条件为:20%硫酸+甲萘胺;温度220-250℃;15个大气压(1520kPa),一个流程时间为7h,在此条件下设备腐蚀严重,1mm厚普通钢板,反应后即腐蚀穿孔。原采用罐内搪12- 14mm厚的铅层为防腐层,则易污染环境,铅的抗腐蚀也较差,一个搪铅反应罐,仅能使用50-60批料即穿孔漏液。锆挂片试验条件为:生产介质20%硫酸+甲萘胺;生产200-250℃;压力14-15个大气(1419- 1520kPa)。结果表明,随时间增加,锆母材与焊缝区氧含量稍有增加,但增加速度较缓,对锆的力学性能未引起恶化。而氢含量却在这种介质腐蚀中逐渐下降,可减少脆性,对锆有利,年腐蚀率仅为 0.024-0.04mm/a。
锆作为与氧有亲和力的活泼金属,氧化膜的耐蚀性能决定了其可以胜任多重腐蚀环境。
一、工业纯锆在所有的沸腾的所有浓度盐酸中,腐蚀速率均小于0.025mm/a。
二、在小于70%的硫酸中锆具有的耐蚀性。此外由于不锈钢和镍合金不能在高温、20%的硫酸和40-60%的沸腾温度以下的硫酸范围内使用,故锆在硫酸环境具有无可替代的作用。
三、在200℃以下,不大于90%的硝酸中,锆具有良好的耐蚀性。但应注意锆在硝酸中的应力腐蚀开裂敏感性。
四、锆在所有浓度甚至沸腾的苛性碱溶液中都耐腐蚀。耐蚀性超过了钽、铌、钛。