适用于研发和小批量生产等离子清洗机

MWD 12 结构紧凑的桌上型设计

适用于研发和小批量生产

具有的PLC 控制系统



选件

● 真空系统

● 臭氧过滤器

● 附加工艺气路

● 散料样品旋转台

● 清洗隔板

● 侧装微波源

● 软启动和慢速填充

● 其它定制选件



技术参数

外形尺寸：

腔体内部尺寸:

腔体内部尺寸:

W225 x H225 x D225 mm

微波功率:

2.45 GHz， 50-300W 可调

工艺气路:

标准1 路，包括质量流量计和控制电磁阀等

真空接口：

DN16 KF

DN16 KF

230 V, 50/60 Hz 0.5KW 不含真空泵

控制单元：

触摸屏PLC控制

真空规:

Pirani真空计

主要应用：

半导体材料表面有机污染物去除和表面活性增强