英思特CDS自动供酸系统

供液系统简称CDS
主要用途:
本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备,具有自动化程度高,配比,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能
控制模式:手动模式,自动模式

优势：
1、 操作安全，节约人工，减少酸雾挥发。
2、 配比稳定准确，减少人为误差
3、适用行业：太阳能，LED，半导体集成电路。

中央集中供液系统特点：系统设备比较复杂，自动化程度高，一次性投入较高，但在运营阶段短 可以的减少运营人员数量和降低运营成本， 便于系统管理和维护。 • 由于行业内常用化学品具有强腐蚀性、剧毒性、 易燃易爆等对人员和设施的高危性质，中央集中 供液系统可以采用大容量包装供应方式，降低化 学品的换桶频率和人员操作次数，安全程度较高。

系统主要功能概述
每种化学液体配两个桶(自动切换)配 两台泵(一备一用)
CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部制程控制,操作界面流程方式执行兼具自动化与易用性
自动模式下可自行达成供酸功能
在手动模式及维修模式下可针对单一自动原件操作

操作模式：
CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制，操作介面以流程方式执行，
兼具自动化与亲和力。
在自动模式情形下可自行达成供酸之功能。
在手动模式及维修模式底下可针对单一自动元件操作。