厂家直供半导体单筒甩干机

一、产品简介
DSG系列旋转冲洗甩干机是高洁净度冲洗甩干设备, 该产品主要用于硅圆片、LED硅片、太阳能电池等其他类似材料的高洁净度冲洗甩干，具有单腔、双腔两种结构（也可按用户要求配置）。
二、结构特点
1． 采用了洁净化处理技术，阀门、接头和管道采用超纯材料。
2． 工作腔、旋转支架等采用316不锈钢，并且表面电化学抛光处理。
3． 工作腔加热和氮气温度控制。
4． 控制软件具有故障实时显示和报警功能。
5． 采用PLC和触摸屏控制，整个过程智能化。
6． 伺服电机驱动。
7． 具有工艺菜单功能。