南通华林科纳零部件清洗机CSE快速行业

华林科纳的产品面向全国销售，华林科纳CSE零部件清洗机的优点
> 通过关闭的工艺腔室的安全操作，加载和仅一次工艺腔室 冲洗之后卸载，完成整个工艺过程。
> 安全门自锁装置
> 工艺腔室保护防止水溢流
> 排风监控部件
> 用于门自锁的电导传感器（仅适用于石英舟清洗设备）
> 简便、安全操作的触摸屏
> 很少的化学品消耗产生小的生产费用，与浸泡式工艺相 比至少节约2-3倍
> 减少了操作次数
> 化学品的消耗，与浸泡式工艺相比要少于大约10倍
> 稳定的清洗工艺，水的消耗，与浸泡式工艺相比少于2倍
> 设备高利用率和低维修率，得益于它特的模块化设计和 命零部件的应用
> 佳的占地
应用
CleanStep的零部件被设计用于PECVD刻蚀清洗设备，以及石墨舟、石英舟、碳化硅舟等扩散舟的 刻蚀和清洗设备。标准化设计的设备是用于2个石墨舟或4个石英舟的清洗。同时也强有力的证明 了用喷淋工艺代替浸泡工艺不仅节约了工艺时间，同时也节约了化学品的消耗量。