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GSS300高速型高配款超声扫描显微镜

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一体机 ——1000mm/s扫描速度,8m/s2扫描加速度。典型应用场景的扫描效率达到35秒/件,为S100机型的X倍。为大批量中小尺寸工件的全检,提供了的解决方案。采用整体焊接框架、主动平衡减振机构,有效降低高加速度引起的机体晃动,提高成像质量。


主要配置:

1、龙门式高速直线电机扫描运动台;

2、主动平衡减震系统;

3、整体焊接框架,提高稳定性;

4、全封闭防护;

5、夹具、一键校准、远程协助;

6、自动上下水及水循环净化系统。


应用领域

精密器件 ——半导体、集成电路和金刚石等行业高速全检,适用于理化试验室或车间现场。


产品参数

1、工作电源:220V/50Hz,3KW;

2、大扫描范围: 500mm×330mm×100mm;图像推荐分辨率:0.5um ~ 4000um;

3、整机尺寸:1250mm×850mm×1300mm;(标配)

4、探头频率范围:1~50MHz;(标配,可升级至230MHz);

5、图像推荐分辨率:0.5um ~ 4000um;

6、典型扫描耗时:≤35s (测试条件:扫描区域10mmX10mm,分辨率50um);

7、大扫描速度:1000mm/s;大扫描加速度:8m/s2;

8、运动台定位精度:X/Y向<±0.5um,Z向<±10um;重复定位精度:X/Y向<±0.01mm,Z向<±0.02mm。

9、采样频率:25~250MHz;(标配,可升级至1.5GHz);

10、每通道可调增益:-13~66dB;(标配,可升级);脉冲重复频率:5kHz;(标配,可升级)。

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