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MS0151 T3027NL LFE8659 EPF8007M S24502G H1126NL N6104DA G9601D PE-92111 H6508NL F0050-R H1631CG MS2152 F0035-R H6080FNL H0002NL H6034NL 23Z87 B4001S B6005 23Z107NL EP9460 </li>
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<strong>主营产品类型</strong>:
封底百兆常规网络滤波器 封底封底30PIN网络变压器 直插千兆贴片网络变压器 顶灌百兆单口工业级网络滤波器 DIP千兆单口POE网络滤波器 底灌直插SOP88网络变压器 MODING直插30PIN网络变压器 上下盖1000MPOE+网络滤波器 顶灌直插8PIN网络滤波器 顶灌10G超薄网络变压器
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MOSFET的栅极材料缺点<br />
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  不过多晶硅虽然在过去二十年是制造MOSFET栅极的标准,但也有若干缺点使得未来仍然有部份MOSFET可能使用金属栅极,这些缺点如下:<br />
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  1. 多晶硅导电性不如金属,限制了讯号传递的速度。虽然可以利用掺杂的方式改善其导电性,但成效仍然有限。目前有些融点比较高的金属材料如:钨(Tungsten)、钛(Titanium)、钴(Cobalt)或是镍(Nickel)被用来和多晶硅制成合金。这类混合材料通常称为金属硅化物(silicide)。加上了金属硅化物的多晶硅栅极有著比较好的导电特性,而且又能够耐受高温制程。此外因为金属硅化物的位置是在栅极表面,离通道区较远,所以也不会对MOSFET的临界电压造成太大影响。<br />
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  在栅极、源极与漏极都镀上金属硅化物的制程称为“自我对准金属硅化物制程”(Self-Aligned Silicide),通常简称salicide制程。<br />
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  2. 当MOSFET的尺寸缩的非常小、栅极氧化层也变得非常薄时,例如现在的制程可以把氧化层缩到一纳米左右的厚度,一种过去没有发现的现象也随之产生,这种现象称为“多晶硅空乏”。当MOSFET的反转层形成时,有多晶硅空乏现象的MOSFET栅极多晶硅靠近氧化层处,会出现一个空乏层(depletion layer),影响MOSFET导通的特性。要解决这种问题,金属栅极是好的方案。目前可行的材料包括钽(Tantalum)、钨、氮化钽(Tantalum Nitride),或是氮化钛(Titalium Nitride)。这些金属栅极通常和高介电常数物质形成的氧化层一起构成MOS电容。另外一种解决方案是将多晶硅完全的合金化,称为FUSI(FUlly-SIlicide polysilicon gate)制程。<br />
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