无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
检查无尘洁净烤箱是否符合生产要求,检查台车烘箱各紧固件是否松动,开机操作前检查台车烘箱是否有漏电现象,若漏电严禁操作使用,并及时查出原因。 加入待烘干物料,物料的厚度不得超过3cm,合上电源总开关,电源指示灯亮。 按下无尘洁净烤箱启动按钮,风机运转,温控器通电。初次使用应检查风机转向,右侧风机从电机端看进去应为逆时针转,转向不符应改变电源相序。
按动“加热”开关(加热器通电),无尘洁净烤箱进入正常工作,根据工艺要求设定温度,当台车烘箱温度上升接近设定值时,加热器电源时通时断,台车烘箱进入恒温工作。无尘洁净烤箱操作结束后应立即关闭电源开关,做好无尘洁净烤箱的清洁和保养工作。无尘洁净烤箱正面上方设有一圆形进气口,调节进气口大小可调节烘箱的进气量,其进气量增加,箱顶排气口排气量也增加,可根据实际情况合理调节进排气量,一般无尘洁净烤箱刚开始启动或温度较低时关闭进气门,以利无尘洁净烤箱的温度上升,当无尘洁净烤箱内温度较高时打开进气门,以利于水分排出。