卧轴矩台平面磨床:工件由矩形电磁工作台吸住或夹持在工作台上,并作纵向往复运动。砂轮架可沿滑座的燕尾导轨(见机床导轨)作横向间歇进给运动(见机床),滑座可沿立柱的导轨作垂直间歇进给运动,用砂轮周边磨削工件,磨削精度较高。
机床用途,光学玻璃是用于制造光学仪器或机械系统中光学元件(透镜、棱镜和反射镜等)的玻璃材料的统称。由于光学玻璃具有稳定的物理化学性能和高度的光学均匀性,且耐磨性好、抗蚀性强,因此被广泛应用于激光技术、光电通讯、航空航天以及工业等领域,已成为当前科学技术中应用活跃的材料之一。
随着科学技术的不断发展,现代光学工业对光学玻璃提出了精度高、需求量大等苛刻要求。从精度方面,要求光学玻璃具有面形精度高(Ra≤0.1 μm)、表面粗糙度低(Ra≤12 nm)以及亚表面裂纹少等;从需求量方面,以激光核聚变装置 所 需的光学玻璃为例,美国国家点火装置(National Ignition Facility, NIF)的光学系统使用7000多件大口径光学元件(口径大于400mm×400mm)。
工作台面采用整体花岗岩结构,在传统闭式静压导轨的基础上开发了高刚性、的大平面闭式静压导轨,以实现工作台的大行程、平稳、可靠的往复运动。工作台采用SIEMENS直线电机进行驱动,同时为了防止直线电机的运动影响台面,为直线电机设计了立的静压导轨。台面的运动状态由HEIDENHAIN光栅系统进行闭环控制,从而了工作台具有、快速响应的运动特性。
砂轮架,开发了转速范围广、高刚性、砂轮静压主轴系统,以实现砂轮的高刚性、回转运动。砂轮轴采用液体静承支承,SIEMENS内置式主轴电机,采用冷却液强制冷却主轴电机,砂轮主轴配备了砂轮平衡装置,配套的管理控制程序能在循环中连续监测砂轮的情况并立即对可能出现的不平衡量进行补偿。
机床配备了激光干涉仪作为加工精度的在位测量系统,通过机床台面运动和测量拖板横向运动,使激光干涉仪的镜头可以扫描所有加工面积。当机床进行磨削加工时,测量横梁可以运动到加工范围以外。超精密大尺寸光学玻璃平面磨床是针对国家重要光学工程行业面临重大需求而研究开发的,是具有国际水平的超精密加工关键装备。