扫描电镜可以分析金属材料表面磨损,腐蚀和形变(例如多晶位错与滑移)情况; 观察金属材料的断口形貌,揭示其断裂机理(解理断裂,准解理断裂,韧窝断裂,沿晶断裂,疲劳断裂); 钢铁产品质量与缺陷分析(例如气泡、显微裂纹、显微缩孔等)
扫描电镜可粗略分为镜体和电源电路系统两部分。镜体部分由电子光学系统、信号收集和显示系统以及真空抽气系统组成。
扫描电镜主要用于:观察纳米材料,材料断口的分析,直接观察原始表面,观察厚试样,观察各个区域的细节,大视场低放大倍数观察,从高到低倍的连续观察,观察生物试样,进行动态观察,从形貌获得资料等等。