D07-11CM 高气压气体流量计技术参数:
产品型号
D07-11CM
产品类型
高耐压型
流量量程
5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
产品精度
±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.)
重复精度
±0.2% FS
线性
±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.)
响应时间
≤10sec
工作温度范围
(5~45)°C
耐压
10MPa
密封材料
氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
输入输出信号
(0~5)VDC
电源
±15V
阀类型
无阀
温度系数
- 无 -
零点飘移指标
- 无 -
电气连接
D sub 15 pins Male
工作压差范围
<0.02 MPa
漏率
1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He)
标准接头形式
双卡套1/8”(满量程>10slm不适用),双卡套Φ3(满量程>10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,双卡套1/4”
表面化学成分
- 无 -
表面粗糙度
- 无 -
抗电磁干扰
CE
重量
1Kg