型号 A 124 H A 604 H A 1204 H A 204 H
A 204 X A 804 H
A 804 X A 1504 H
A 1504 X A 1804 H
A 1804 X
抽速 m3/h 110 560 1150 160 700 1200 1700
极限真空
(氮气吹扫阀关闭) hPa 2X10-2 2X10-4 9X10-4 5X10-2 2X10-3 2X10-3 2X10-3
极限真空
(氮气吹扫阀50 SLM) hPa 5X10-2 6X10-3 6X10-3 2X10-1 9X10-3 9X10-3 9X10-3
全转速大进气气流 SLM 80 60 55 150 100 100 70
大功率 KW 1.5 1.9 2.3 1.8 2.2 2.6 2.6
大排气压力hPa 1200 1200 1200 1200 1200 1200 1200
进气口 ISO-KF DN 50 DN 100 DN 160 DN 50 DN 100 DN 160 DN 160
重量 kg 250 370 530 260 380 540 540
德国 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列适合半导体、光伏等腐蚀性强的行业,干式真空泵抽速从 160 到 1,700 m3/h 满足不同需求,特殊的耐腐蚀工艺设计干式真空泵 A4X 系列使用寿命大幅提高,有效降低了企业成本。
普发干式真空泵PFEIFFER A4X 系列核心优势:
通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
特殊设计,避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
配置氮气吹扫阀,耐粉尘
干式真空泵 A4X 系列应用:
半导体:(蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
涂料行业:光伏和 LED
耐腐蚀设计,使用寿命长