氮化硅在半导体中的应用

氮化硅陶瓷具有重量轻和刚度大的特点，可用来制造用氮化硅（Si3N4）陶瓷制造的蒸汽喷嘴具有耐磨、耐热等特性，用于650℃锅炉几个月后无明显损坏，而其它耐热耐蚀合金钢喷嘴在同样条件下只能使用1
- 2个月。

图片由杭州海合精密陶瓷提供

氮化硅陶瓷特点

Si3N4结构中，在β-Si3N4的一个晶胞内有6个Si原子，8个N原子。其中3个Si原子和4个N原子在一个平面上，另外3个Si原子和4个N原子在高一层平面上3层与1层相对应，相对β-Si3N4而言,α-Si3N4晶胞参数变化不大，但在C轴方向约扩大一倍，其中还含有3%的氧原子以及许多硅空位，因此体系的稳定性较差。
氮化硅陶瓷物理性质平稳，抗腐蚀，除盐酸外不与别的别的强氧化剂反映，800℃干躁氛围下不与氧产生反映，超出800℃，刚开始在在表层转化成二氧化硅膜，伴随着温度上升二氧化硅膜慢慢变平稳，1000℃上下可与氧转化成高密度二氧化硅膜可维持至1400℃基础平稳。
氮化硅陶瓷于1870℃上下立即溶解，能耐空气氧化到1400℃，具体应用达1200℃(超出1200℃结构力学抗压强度会降低)。

图片由杭州海合精密陶瓷提供

体积密度：3.1-3.3，抗弯强度：600-800MPa，外观颜色：黑灰色，产品纯度：99.9%

制造商：海合精密陶瓷，特性：半导体陶瓷，微观结构：其他，形状：四方片

功能：滑动用陶瓷，产品参数：φ35*20*15MM，价格：205元/件，产地：辽宁阜新市

氮化硅陶瓷工艺

氮化物包括非金属和金属元素氮化物,他们是高熔点物质氮化物陶瓷的种类很多,但都不是天然矿物,而是人工合成的日前工业上应用较多的氮化物陶瓷有氮化硅(Si3N4)、氮化硼、氮化铝、氮化钛等例如:氮化硅陶瓷（Si3N4）材料的热膨胀系数小,因此具有较好的抗热震性能;在陶瓷材料中,Si3N4的弯曲强度比较高,硬度也很高,
Si3N4陶瓷耐以外的所有无机酸和某些碱液的腐蚀。

高纯纳米级氮化硅粉体 

产品纯度：99.99%以上

干压成型，等静压成型 

根据产品的外形和尺寸不同，采用不同工艺，确保产品质量

根据用户需求选择合理工艺 

可提供反应烧结，常压烧结，气压烧结，热压烧结等不同工艺方法制备的产品

尺寸精度：高可达0.003㎜

光洁度：高可达Ra0.03

同心度：高可达0.003㎜

平行度度：高可达0.003㎜

内孔：小可加工0.04㎜

直槽：窄可加工0.1㎜

厚度尺寸：小可加工0.1㎜

螺纹：小可加工内螺纹M2，外螺纹不限

氮化硅陶瓷精密结构件生产定制 

信用企业，技术性。企业是一家特种陶瓷的高新科技公司，是生产制造新式工业陶瓷，耐磨损氮化硅陶瓷等高精密产品的技术生产厂家。

产品检测，符合图纸要求 

公司陶瓷氮化硅生产成型工艺依附干压
等静压等多种成型工艺及的加工设备，生产陶瓷结构件等，可来图来样加工定制。

包装运输确保产品安全送达 

陶瓷材料属于硬脆材料，安全可靠的包装是产品流通的后一道环节

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