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三代半导体分子束外延设备SiC和GaN薄膜生长真空机械分子泵MBE

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深圳市星海威半导体分子束外延设备，可以促进sic和GaN薄膜的生长。分子束外延是一种特上个月的真空镀膜工艺，在适当的衬底和与合适的条件下，会沿衬底材料晶轴的方向逐渐逐层生长薄膜。
分子束外延设备广泛应用于电子工业，交通运输，光伏等领域，不仅可以用来制备现有的器件，还可以制备新器件。
技术特点:
1单腔/多片（较大3x8lnch）+洁净真空机械手搬运
2个盘立控温，控温精度高
3水平层流布气+分子泵排期，控制气体分布均匀
5工艺进展实时监控，控制参数

深圳市星海威真空设备有限公司为你提供的“三代半导体分子束外延设备SiC和GaN薄膜生长真空机械分子泵MBE”详细介绍
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外延设备分子束外延半导体真空设备sic和GAN

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