光学微电子超净无尘净化车间设计标准和方案

超净无尘净化车间目前已经广泛应用于工业半导体、精密配件制造、LED液晶平面生产、光学镜片制造、精密电子线路板、SMT无尘车间、PCB净化车间、光伏新能源电池生产、塑料化工生产、电镀/喷涂车间等，近十几年来，由于技术的创新发展越来越快，社会及工业对产品的精密度和微型化的需求越来越迫切，以及新能源的发展等都要求建设微电子超净无尘车间。

一、光学微电子超净无尘车间的平面布局要求
1、净化车间洁净生产区：
洁净度等级设置为百级、千级或万级
2、无尘生产辅助用房：
洁净等级设置为万级、十万级，一般包括人流进出洁净用房，物料进出清洁区和部分车间办公生活区等。
3、超净净化车间管理区：
洁净等级设置为十万级或三十万级，一般包括办公室、会议室、值班室和休息区。
4、车间生产设备区：
该区域对空气净化等级没有要求，但要求与净化车间设置有效的物理或空气隔离，本区域主要设置净化空调机房、电气用房、纯水间、生产用气间。

二、超净无尘车间的空调设计方案
1、超净无尘净化车间净化原理
净化空调机组通过风机将室内及室外的部分新风行初效过滤后，再进行中效过滤，这两级过滤在组合式净化空调机组内完成，然后用高静压风机泵入管道，管道末端连接与室内相同的特殊送风箱，该送风箱内设置率过滤板，通过过滤器后的空气进入房间，通过净化车间空调系统工程师规划的流动路线，带走房间内的微小尘埃，根据不同级别的净化等级需要，上述过程需重复不同的次数。

2、超净无尘净化车间循环参数
无尘车间按级别阐述房间换气次数：十万级净化车间换气次数每小时不能小于15次；万级无尘车间换气次数每小时不能小于20次；千级无尘室换气次数每小时不能小于50次；百级超净室和十级超净棚不以换气次数为标准，以全天花送风的方式送风，全地面回风的方式回风，即增大送风和回风口所占面积的比例，计算净化组合式空调机组的送风量是以送风速度控制在0.3-0.5m/s来进行反向推算。

3、超净无尘净化车间的温度和湿度控制范围：
冬季＞摄氏16度，夏季＜摄氏26度，波动范围为±摄氏2度；湿度在45-65%之间，具体以生存的产品特点来确定，正常波动范围在±5%，湿度同时在不同的数量值时对室内的静电也有特殊的效果，所以净化车间内的湿度要综合考虑

4、超净无尘净化车间内的噪音以工作人员的舒适度为主要依据
国家噪音标准规定工作环境内的噪音应控制在≤65dB，为了室内控制人员的舒适度问题，按照暖通通风标准净化车间内要适当补充新风，新风量按照人员数量计算，按50m3/h计算。

三、光学微电子超净无尘车间装修材料的选择
1、车间吊顶材料：
采用FFU盲板或选用防火彩钢板，吊顶内须可上人，对承重要进行详细技术。
2、车间墙体装修材料：
采用防火彩钢板，彩钢板厚度为50mm，可以尽量有效的适用场地的占地面积，该彩钢板在安装时需要进行接地处理，以到达排放静电的功能。
3、 车间地面装修：
一般选用环氧自流平或PVC卷材，但无尘车间内须对上述两种材料进行抗静电处理。

净化工程团队在进行此类工程的设计施工中，要充分考虑光学微电子生产企业具体的生产流程和工艺，综合产品的特性和企业的规划等各方面因素来确定方案，才能建设一个满足企业生产要求的超净无尘净化车间。SAREN三仁从事净化工程，拥有净化工程资质，在生物制药，精密制造，半导体，光学微电子，食品，化妆品等行业净化工程方面有些丰富的经验。