超纯水是指下列杂质含量极低的水：①无机电离杂质，如 Ca 、Mg 、Na 、K 、Fe 、Fe 、Mn 、Al 、HCO3-、CO3-、SO4--、Cl-、NO2-、NO3-、SiO3--、PO4---等；②有机物，如烷基苯磺酸、油、有机铁、有机铝以及其他碳氢化合物等；③颗粒，如尘埃、氧化铁、铝、胶体硅等；④微生物，如、浮游生物和藻类等；⑤溶解气体，如N2、O2、CO2、H2S等。
超纯水指的是纯度的水。这是一种工业用水，集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。
蒸馏水是指经过蒸馏、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，三次的叫三蒸水。低耗氧量的水，加入与酸工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得。词条详细介绍了蒸馏的概念、蒸馏水、多次蒸馏水、蒸馏水的标准、制作方法、优点、用途；并且与去离子水、高纯度水、超纯水进行了对比分析。
蒸馏是一种热力学的分离工艺，它利用混合液体或液-固体系中各组分沸点不同，使低沸点组分蒸发，再冷凝以分离整个组分的单元操作过程，是蒸发和冷凝两种单元操作的联合。与其它的分离手段，如萃取、过滤结晶等相比，它的优点在于不需使用系统组分以外的其它溶剂，从而不会引入新的杂质。
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