退火可以使材料内部排列更加有序,结构得到改善,半导体在生产过程中,由于加工、工艺、温度等因素,晶体材料会产生一定程度的应力,若不及时消除,会影响半导体器件的电学性能,退火可以使应力消除,材料形成平衡态,缓和晶格应变,减少晶格缺陷和渣质数量和大小,提高半导体的可靠性。
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管式真空炉高真空热处理设备真空炉真空退火炉真空热处理炉
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