南京下关单晶炉回收真空泵回收联系电话

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提拉式单晶炉技术参数1、电源电压：380VAC±5%2、电源频率：50HZ 3、电源相数：3相3线制4、变压器容量：190KVA5、加热器加热功率：160KW6、加热温度：1600℃7、加热器加热电压：60V8、冷炉极限真空度：＜a9、晶体直径：￠6〞～￠8〞10、熔料量 ：90Kg11、主炉室尺寸：φ900×1250mm上炉室尺寸：φ900×900mm下炉室尺寸：φ900×350mm12、翻板阀通径：φ280mm13、封头炉盖高度：410mm14、副炉室尺寸：φ280×250015、籽晶转速范围：1～40rpm16、籽晶拉速范围：0.2～8mm/min17、籽晶快速：≥350mm/min18、籽晶在炉内有效行程：3500mm19、籽晶在副室内有效行程：2100mm20、坩埚升速范围：0.02～1mm/min21、坩埚快速：≥100mm/min22、坩埚在炉内有效行程：400mm23、坩埚转速范围：1～30rpm24、两个电极孔孔距：480mm 25、耗水量：25m3/h26、主机占地面积：2500x2000mm27、主机高度：6800mm28、主机重量：约7500Kg分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，为了配合di76．Zmm器件生产线的发展，我所研制了国内台15～30公斤的DL。78型单晶炉［‘］，并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺［‘］。在控制大直径硅单晶的过程中，涉及的面比较广，尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺，需要研究讨论的问题很多，例如，热场的设计、减压工艺的设计与调整