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离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用\引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前制备单晶硅的主要方法。在单晶生产过程中,传统装料方法为炉前装料,即,以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内,再进行合炉、真空检漏[1]。整个过程非常缓慢,而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内,装料时间(清炉结束到合炉)约为2h,操作起来较繁琐。此外,装料工工作量不饱和,存在人力浪费现象;在车间内部装料过程中涉及环节较多,硅料的洁净度存在质量隐患,不能确保硅棒的产品质量[2]。随着光伏市场竞争的日趋激烈,追求低成本和率成为每一个企业市场的逐胜之道。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，结合单晶炉提拉系统实际结构,进行了系统UG三维实体建模、动平衡数学建模、计算以及提拉系统动平衡仿真配平工作。系统动平衡分析、计算的结果明,提拉系统配平效果即动平衡效果是比较好的。随后,针对某型号单晶炉提拉系统的实际结构,进行了提拉系统理论静不平衡量的大小、相位计算,三维软件UG建模计算和该设备“以动测静”法的平衡实验