浙江嘉善提拉式长晶炉回收螺杆真空泵回收现场报价

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本发明的直拉式单晶生长炉中，经 输入管输入的气压为0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量为30L/min。 该流量不但不影响该炉中单晶的生长，平均每个直拉式单晶生长炉每 天可少消耗1440L，有效降低了生产成本，且利于在硅单晶生长过程 中单晶分子排列结构的整齐性，还利于提高电阻率的均布性。(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中，碗形的气流导向装置设于坩埚支持器下方和炉底部的排气口之间，且气流导向装置的中轴孔及一对电极孔分别与该炉的石 墨中轴及一对电极孔配合设置，有效地减小了炉内空间，便于迅速及时地 将炉内的一氧化硅与的混合气体排出，且利于减少热能和的消耗量，使原有的引晶功率从65KW减到61KW;另外，由于该炉的排气口与气流 导向装置的各通气孔相连通，分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性；籽晶轴旋转及提拉密封均采用的磁流体密封组件，无泄露，长期使用不需充磁；精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件，确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试，高速旋转下籽晶晃动小于2mm，适应半导体工艺需求。坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱、双滚动直线导航、精密滚珠丝杠以及进口等功能件组合设计，确保坩埚系统在超重低速工况下长期平稳运行。浮动式翻板阀设在主副炉室之间，可在热场维持工艺温度的情况下，取出晶体，更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。