压力传感器的误差主要由偏移量误差、灵敏度误差、线性误差和滞后误差构成:
1、灵敏度误差,产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。 。
2、偏移量误差。由于在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。
3、滞后误差:在大多数情形中,滞后误差完全可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。
4、线性误差。这是一个对初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线。
压力传感器的线性精度:非线性是指压力传感器由空载荷的输出值和额定载荷时输出值所决定的直线和增加负荷之实测曲线之间偏差对于额定输出值的百分比。理论上传感器的输出应该是线性的,事实上并不是,非线性就是和理想中的偏差百分比。非线性单位为:%FS,非线性误差=量程*非线性,如量程为100KG,非线性为0.05%FS,非线性误差即为:100KG*0.05%=0.05KG。线性度就是表征了传感器实际特性曲线与离线直线之间的差异程度,也称非线性度或非线性误差。
压力传感器在自动化设备上的应用是广泛的,热压机、化成机、贴合机等等都会用到很多的压力传感器,甚至有的一台机用到几十个压力传感器,压力传感器种类结构繁多,选型的时候要注意选择合适的结构以方便安装使用。