SEM通过聚焦电子束扫描样品表面,激发二次电子和背散射电子等信号,这些信号被转换为图像,从而揭示样品的微观形貌和结构信息。
EDS的工作原理是利用高能电子束轰击样品表面,激发原子内层电子并产生特征X射线,通过测量X射线的能量可以确定元素的种类和浓度。
SEM+EDS分析技术可以用于研究材料的相变、扩散、析出等过程,为材料的热处理和改性提供科学依据。
在SEM+EDS分析中,需要注意样品的尺寸和形状对分析结果的影响,需要选择合适的样品尺寸和形状,以确保分析的准确性和可靠性。
在SEM+EDS分析中,需要注意样品的热稳定性和化学稳定性对分析结果的影响,需要选择合适的测试条件,避免样品在测试过程中发生变化。
在SEM+EDS分析中,可以通过与其他分析技术如透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射(XRD)等结合使用,获取更全面的材料信息。
在SEM+EDS分析中,需要注意样品的磁性和导电性对分析结果的影响,需要选择合适的测试方法和条件,避免磁性和导电性对分析结果产生干扰。