起初广泛使用的厚度测量工具是卡尺、螺旋测微器、测厚表等,但随着科技的进步、社会的发展,常用的测厚方法有射线测厚法、超声波测厚法、光学测厚法、机械测厚法等,虽然厚度检测方法众多,但从综合程度上看,在线测厚系统更多的还是采用激光测厚仪。
X射线测厚仪利用X射线管通电产生X射线作为信号源,根据X射线穿透被测物时的强度衰减来进行转换检测薄膜的厚度,它的特点是放射物质能量低,无需使用许可证,测量精度高,可测量透明或不透明材料,不受添加剂和色母料的影响,不受环境温度和薄膜抖动影响。
薄膜测厚仪由于工作现场环境复杂,系统工作一段时间后由于各种因素的干扰,系统会产生基准漂移。这时通过系统效验模块可以修复这种漂移,以系统测量的准确性