立轴圆台平面磨床:竖直安置的砂轮主轴以砂轮端面磨削工件,砂轮架可沿立柱的导轨作间歇的垂直进给运动。工件装在旋转的圆工作台上可连续磨削,生产效率较高。为了便于装卸工件,圆工作台还能沿床身导轨纵向移动。卧轴圆台平面磨床:适用于磨削圆形薄片工件,并可利用工作台倾斜磨出厚薄不等的环形工件。立轴矩台平面磨床:由于砂轮直径大于工作台宽度,磨削面积较大,适用于磨削。
H402-AZ数控平面磨床采用龙门式卧轴矩台的结构布局方式,配备运动功能部件、高分辨率测量与反馈系统以及数控系统与伺服驱动系统,具有结构刚度高、力热稳定性好和加工精度高的特点。另外,机床配备了在位测量系统,可完成大尺寸光学玻璃平面度快速、精密、可靠检测。超精密大尺寸光学玻璃平面磨床结构。
工作台面采用整体花岗岩结构,在传统闭式静压导轨的基础上开发了高刚性、的大平面闭式静压导轨,以实现工作台的大行程、平稳、可靠的往复运动。工作台采用SIEMENS直线电机进行驱动,同时为了防止直线电机的运动影响台面,为直线电机设计了立的静压导轨。台面的运动状态由HEIDENHAIN光栅系统进行闭环控制,从而了工作台具有、快速响应的运动特性。
立柱、滑座与横梁,可控制由于热引起的机床变形,立柱和横梁采用花岗岩制成。砂轮横向位移滑座置于固定的横梁上、安装砂轮架的垂直运动拖板置于横向位移滑座上。横向位移和垂直运动均采用SIEMENS伺服电机直接驱动滚珠丝杠来完成,HEIDENHAIN光栅位置反馈。横向位移滑座以及垂直运动拖板的导轨同样采用的是液体静压导轨。
砂轮架,开发了转速范围广、高刚性、砂轮静压主轴系统,以实现砂轮的高刚性、回转运动。砂轮轴采用液体静承支承,SIEMENS内置式主轴电机,采用冷却液强制冷却主轴电机,砂轮主轴配备了砂轮平衡装置,配套的管理控制程序能在循环中连续监测砂轮的情况并立即对可能出现的不平衡量进行补偿。
机床配备了激光干涉仪作为加工精度的在位测量系统,通过机床台面运动和测量拖板横向运动,使激光干涉仪的镜头可以扫描所有加工面积。当机床进行磨削加工时,测量横梁可以运动到加工范围以外。超精密大尺寸光学玻璃平面磨床是针对国家重要光学工程行业面临重大需求而研究开发的,是具有国际水平的超精密加工关键装备。