分辨率极限的突破
球差校正技术:通过电磁透镜校正电子束像差,使透射电镜(TEM)分辨率达0.05纳米。
低温技术:液氦冷却样品减少热振动噪声,提升STM成像稳定性。
生命科学
细胞超微结构:AFM可动态观察细胞膜在药物作用下的形变过程。
分子生物学:STM用于DNA碱基对的直接成像,揭示基因突变位点。
神经科学:SNOM研究神经元突触的纳米级信号传递。
扫描电子显微镜(SEM)
原理:利用高能电子束轰击样品表面,激发出二次电子和背散射电子,通过探测器接收信号成像。
分辨率:可达1纳米(高真空模式下),比光学显微镜高100倍以上。
应用场景:广泛用于材料科学(如金属断口分析)、生物学(细胞表面结构观察)和半导体行业(芯片缺陷检测)。
局限性:需真空环境,样品需导电或镀膜处理。