2.45 GHz 微波等离子体源是一种用于产生等离子体的设备,它利用 2.45 GHz(千兆赫)的微波频率来产生电离气体。这种技术在各种工业和科学应用中都有重要应用。
电子器件制造:ECR等离子体源在半导体工业中,微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧,可以多个等离子体源组成等离子墙,或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。
Sairem 微波等离子体源可用于化工污染处理。它利用微波能量来加热和处理化工废物,例如污水、有机废物或化学废料。这种技术可以有效地降解有害物质,提高处理效率,并减少对环境的影响