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湿式清扫
与液体接触的表面，需要采用擦拭+真空清洁的湿式清扫方式。湿式清扫是广泛被应用的清扫方式，以下是具体的介绍：
a)“擦洗清扫”是为了去除脏污和重度污染，采用机械或手动进行的一种粗清扫方法。注意防止擦洗所使用的机器或用具自身的发尘污染。擦洗之后，用干拖把或是真空吸湿器将多余的水除去。
b)“拖把清扫”是粗清扫、普通清扫中去除脏污很有效的一种方法。拖把清扫是在真空除尘之后，去除残余液体的清扫方法。擦洗适用于局部区域，而拖把则适用于地面或是大面积区域。拖地水好是经过过滤的离子水或蒸馏水，并频繁更换干净的拖地水。区域更换拖地水的频率要更高。对于“粗清扫”来说，拖地水以变色为更换标准，清洗干净水桶之后再接满水。“普通清扫”和“精密清扫”的标准是在水未变色之前就要换水。因此好有两个以上的水桶以免频繁的换取水。必要时配合使用非离子合成洗剂或是接口活性剂清洁。为了避免拖地后剩水太多，尽量将拖把拧干。拧干之后拖地虽然还是会有水残留，但是会干很快。为地面都被拖到，请重复拖拭。重复拖地时，将拖把换面，防止脏污面将拖干净的地面再度污染。注意也不要频繁的重复拖拭，避免再度污染。墙角的地方需要使用特殊的拖把清扫。

墙壁、门、送风口、窗、侧面
在单一方向气流的无尘室内，产品生产作业时不要清扫送风口附近区域，要在停止作业时或产品移出该区域后，再或者将产品覆盖保护之后再进行清扫。采取真空吸入的方式和特殊的地方加上拖把清扫的清洁方式。具体方法根据洁净度要求而定。非单一方向气流的无尘室内，好在没有生产作业时再进行清洁。

机械设备有很多供输管道、电线和连接部位，清扫时要注意检查管道和电线的破损情况，断开电源之后再进行清扫，防止危险的发生。机械设备有很多与产品直接接触的接触面，好进行等级划分，根据洁净度等级要求选择合适的清扫方式，并对不同等级区域进行标示，方便清扫正确进行。
a)设备的外表面跟无尘室内的洁净度是一致的。同墙壁、水平面、垂直面一起按照合适的顺序清扫。
b)设备的内表面分为设备内壁和内部设备接触面。内壁将重要的产品生产区域隔离开，内壁的清扫应该在内部设备接触面清洁之后再进行清洁。内部设备接触面的清扫除了要清洁之外还要定期保养维护。
c)与产品接触的接触面是离产品近的地方，因此有产品在时不可按照清扫顺序及流程进行，需根据洁净度要求进行，并以文件方式规定。