精密位移定位技术根据定位行程的不同可分为,微行程和大行程定位技术。微行程定位技术是指几纳米至几百微米的定位行程的精密定位;大行程定位技术是指几毫米至几百毫米的定位行程的精密定位在集成电路中,要求承载晶圆的工作台能在多维方向上进行毫米级行程内的具有纳米级定位精度的定位才能实现对直径较大的晶圆的加工制造电动、组合定位平台和系列化固定装置的卡具和托架。各式光学设备和光学产品在定位,校正,检测中都要用到精密位置移动与控制,能够实现精密位移的产品称为精密移动平台
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