扫描电镜可以研究岩土组成,构造和坚固性。可用来观测宇宙尘,陨石及月岩等的形态特征,构造,以便对推断其成因和认识宁宙提供了有效资料;可以对古微生物化石形态,排列方式进行研究,对测定地质年代及地层形成古地理环境等提供数据。
扫描电镜测试的样品制备相对简单,块状样品、粉末状样品、纤维状样品等均可观察。
在SEM测试中,为了获得较高的信号强度和扫描像分辨率,扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
对于生物组织类样品,SEM测试的样品制备需要在高真空环境中进行固定、冷冻或脱水处理,并进行喷金处理以提高拍摄效果。