二手美国ZYGO带软件干涉仪/激光干涉仪口径100MM介绍
配置说明:二手美国原装ZYGO激光干涉仪 带软件干涉仪:美国原装设备,配原装软件、镜头、支架,欢迎来工厂试设备,成色相当好。
功能:测量平面、球面、柱面元件的曲率半径、面形、以及透过波前
GPI XP/D系统参数及测量精度
测量光束直径 4"(102mm)
激光类型 632.8nm II级 氦-氖激光
测量重复性 Lambda/100@632.8nm
RMS重复性 2Lambda/10000@632.8nm
数据采样 640x480像素,8位。(可拓展:1024x1024像素)
测量精度Zygo GPI XP/D标准镜头性能参数(直径102mm)
平面标准镜头精度 Lambda/20@632.8nm
球面标准镜头精度 Lambda/10@632.8nm
球面标准镜头F数 F/0.65,F/1.6,F/3.3,F/7.1
性能参数:
1、测量重复性:1λ/300 (2σ )
2、RMS 重复性:2 λ/10,000 (2σ)
3、数据采样: 640x480 像素,8位
4、分辨率:>λ/8,000
5、条纹分辨率:180条纹
7、数据采样时间:低分辨率(7幅数据图像):93 ms ;高分辨率(13幅数据图像):173 ms
8、测量光束直径:102 mm