云南省曲靖市GB/T16944-2009电子工业用氮气检测

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江苏科海检验有限公司是一家依法成立并能够承担相应法律责任的第三方气测中心。支持全国上门取货、寄样检测,检测周期短费用低,欢迎来电咨询

GB/T 16944 2009《电子工业用气体 氮》标准主要应用于电子工业中的多个领域,特别是在超大规模集成电路(VLSI)制造过程中。氮气在电子工业中有以下几个关键的应用: 

  1.    洁净室环境  :氮气用于创建无尘、无氧的洁净室(Clean Room)环境,这对于防止杂质对半导体器件造成损害至关重要。 

  2. 2.   蚀刻和扩散  :在光刻和离子注入等半导体制造步骤中,氮气作为掩蔽气体参与,保护电路图案不受其他元素的影响。 

  3. 3.   气相沉积(PVD)  :氮气被用于某些薄膜沉积过程,如化学气相沉积(CVD),用于形成绝缘层或导电层。 

  4. 4.   气体注入  :氮气可用于掺杂硅片,改变其电导性质,以制造不同类型的半导体元件。 

  5. 5.   设备保护  :在存储设备如硬盘驱动器中,氮气可用作气体介质,以提高存储单元的可靠性。 

  6. 6.   冷却  :在某些情况下,氮气也用作冷却剂,特别是在需要低热传导性能的环境中。 因此,该标准确保了电子工业用氮气的质量控制,包括纯度、湿度、水分含量等参数,以满足精密电子设备生产过程中的严格要求。

  7. 江苏科海检验有限公司是一家依法成立并能够承担相应法律责任的第三方气测中心。支持全国上门取货、寄样检测,检测周期短费用低,欢迎来电咨询

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