山南M4D9-17划片刀

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高密度的金刚石颗粒可以延长划片刀的寿命,同时也可以减少晶圆背面崩角。而低密度的金刚石颗粒可以减少正面崩角。硬的粘结材料可以更好地“固定”金刚石颗粒,因而可以提高划片刀的寿命,而软的粘结材料能够加速金刚石颗粒的“自我锋利”(Self Sharpening)效应,令金刚石颗粒保持尖锐的棱角形状,因而可以减小晶圆的正面崩角或分层,但代价是划片刀寿命的缩短。刀锋的长度应根据晶圆的厚度,承载薄膜的厚度,大允许的崩角的尺寸来进行定义,刀锋不能选得过长,因为长的刀锋会在切割时引起刀片的摆动,会导致较大的崩角。

通常在切割前会在晶圆背部贴上UV膜或蓝膜,之后将贴有UV膜的晶圆放入划片机中,设置好程序开始划片,划片结束后拿出晶圆,进行解UV等工序。蓝膜成本较低,但是需要通过机械手段+温度辅助才能将芯片剥离;而UV膜粘性可以通过紫外线照射来改变。在划片完成后,晶圆被暴露在紫外光下,这使得膜的粘性降低,从而容易地剥离芯片。

崩边

正崩主要发生在晶圆的切割面(正面),背崩是指晶圆背面的崩边。不管正崩与背崩,在晶圆划片时都是不被允许的。崩边产生的原因有:

1,不恰当的切割参数导致崩边

2,刀片磨损严重,钝化的刀片边缘增加了切割过程中的不规则作用力,从而增加了崩边的可能性

3,刀片中的金刚石等磨料颗粒在切割过程中与晶圆表面材料发生撞击,导致崩边
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