Pfeiffer普发TMU071-003P分子泵维修,Pfeiffer TMU071-003P普发涡轮分子泵进气法兰口DN63 CF-F,出气法兰口DN16 ISO-KF,抽速可达到60 L/s,转速为90000rpm,极限真空5X10-10 mbar,对应的控制器为:Pfeiffer TC100等
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