EdwardsSTP301爱德华磁悬浮分子泵维修
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Edwards STP301爱德华磁悬浮分子泵维修，Edwards STP301/STP301C爱德华磁悬浮分子泵进气法兰口ISO100/CF100，出气法兰口KF25，抽速可达到300l/s，转速为48000 rpm， ISO100法兰口极限压力6.5 x 10-6Pa (5 x 10-8Torr)，CF100法兰口极限压力10-8Pa (10-10Torr)，对应的控制器为： Edwards SCU-451， Edwards SCU-301
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