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日本芝浦机电shibaura小型扩散油真空泵ESV系列

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日本芝浦机电shibaura小型扩散油真空泵ESV系列

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ESV系列的功能

该系列采用ESV-6或以下的环形加热器和ESV-8或以上的内部热式护套加热器,以从真空区域到高/中/真空区域获得稳定的压力。防止因机油碰撞而引起的压力波动。
ESV系列由于提高了加热油的热效率(与我们公司相比),因此具有运行时间短,排量大和临界背压高的特点。它还需要较少的液压油。

使用例

  • 各种真空炉

  • 各种实验的排气装置

  • 管材制造设备

  • 各种成膜设备

  • 电子束焊接

  • 电子显微镜

ESV系列阵容

模型单元ESV-3ESV-4ESV-6
抽速升/秒3805801,200
极限压力10 -610 -610 -6
工作压力范围10 -6〜3.3 ×10 -110 -6〜3.3 ×10 -110 -6〜0.4
临界背压404040
大排量帕升/秒93190260
用油 高腰F-4高腰F-4高腰F-4
油量大号0.120.180.3
垫片 

维通

维通

维通

加热器格式 

云母带

云母带

云母带

电压,相ACV,相

200,1

200,1

200,1

格式千瓦

0.55

0.75

1.2

录取 

VG80

VG100

VG150

辅助口 

VG25

VG25

VG50

冷却方式 

水冷

水冷

水冷

冷却水量L / min,在25℃时

1.1

1.5

2

辅助泵 

DRP-360Ⅲ或RP-360Z

DRP-800或RP-800ZⅡ

DRP-800或RP-800ZⅡ

挡板格式 

3C(雪佛龙)

4C(雪佛龙)

6C(雪佛龙)

带挡板的抽速升/秒

165

240

450

挡板冷却水量L / min,在25℃时

1.1

1.5

2

机油倒流率cm 3 / cm 2分钟

10 -8

10 -8

10 -8

材料圆筒

不锈

不锈

不锈

喷射

铁(镀镍)

铁(镀镍)

铁(镀镍)

大众公斤

8.5

11

20







模型单元ESV-8ESV-10ESV-12
抽速升/秒2,0003,0004,500
极限压力10 -610 -610 -6
工作压力范围10 -6〜3.3 ×10 -110 -6〜3.3 ×10 -110 -5〜0.4
临界背压464037
大排量帕升/秒400460800
用油 高腰F-4高腰F-4狮子A
油量大号0.61个1个
垫片 

维通

维通

氯丁橡胶

加热器格式 

种子

种子

种子

电压,相ACV,相

200,1

200、3

200、3

格式千瓦

1.6

2.5

3.2

录取 

VG200

VG250

VG300

辅助口 

VG50

VG50

VG80

冷却方式 

水冷

水冷

水冷

冷却水量L / min,在25℃时

2.5

6

辅助泵 

DRP-1500或RP-1200ZⅡ

DRP-1500或RP-1200ZⅡ

RP-1200ZII x 2

挡板格式 

8C(雪佛龙)

10C(雪佛龙)

12C(雪佛龙)

带挡板的抽速升/秒

800

1,200

1,800

挡板冷却水量L / min,在25℃时

2.5

6

机油倒流率cm 3 / cm 2分钟

10 -8

10 -8

10 -7

材料圆筒

不锈

不锈

铁(镀镍)

喷射

铁(镀镍)

铁(镀镍)

铁(镀镍)

大众公斤

二十五

45

55


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