单腔ECR等离子体源等离子体源束线等离子体源火炬

在 2.45 GHz 频率下产生的微波具有产生等离子体的特优势。在这个频率下，微波可以有效地与气体的电子共振，从而提高电离效率。此外，2.45 GHz 频率允许使用相对较小的腔体尺寸，这对于紧凑型等离子体源的设计非常有用。 微波等离子体源具有多种应用，包括：

电子器件制造：ECR等离子体源在半导体工业中，微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧，可以多个等离子体源组成等离子墙，或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。

照明：微波等离子体源可用于制造高强度放电灯，如用于投影仪或汽车前灯的金属卤化物灯。 医学应用：微波等离子体源可用于医疗消毒和手术中的组织电凝。