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正负电子位状态不平衡，因此游离态氧很容易和氧分子联系在一起生成臭氧，而臭氧的强氧化作用可以促进有机挥发性废气的分化。在UV设备内安装着紫外线放电管，紫外线放电管发作的光子能量可以高达647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能迅速裂解小于该能量的有机挥发性废气的分子键，使其转变为无机小UV紫外线对空气中的氧气发作分化作用，推进氧分子分化成为游离态的氧，游离态氧上的分子物质。
在UV光氧催化氧化废气设备中增加纳米级其他活性资料，将活性资料给予紫外线照耀，活性资料可以吸收大量的光能，于外表发作鼓励进而生成h+（空穴）与e-（电子），而空穴与电子所具有的氧化复原才能，可与氧、水发作反响，迅速生成具有氧化才能的·OH（氢氧根自由基）与·O2-（超级阴氧离子）。·OH氧化电位适当高，可以氧化有机挥发性废气中的电子，推进无光吸收才能物质的氧化分化。研讨发现，在紫外光的能量以及纳米活性催化氧化作用下，有机挥发性废气在短短2-3秒的时刻内就可以被充分分化。光氧催化技能是在外界可见光的作用下发作催化作用，以半导体及空气为催化剂，以光为能量，将有机物降解为CO2和H2O及其它无害成份，废臭气体通过处理后可到达净化的更理想的作用。因为在光催化氧化反响过程中无任何增加剂，所以不会发作二次污染，运转本钱方面仅仅用到电能，无需常常替换配件，对于公司、企业来说使用上是适当的节能环保。
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