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技术参数
洁净室地面
对地面的一般要求有以下几点：平整光滑，耐磨，不易起尘，耐侵蚀（酸、碱、药品等），防静电，防滑，可少缝或无接缝加工，易清扫。
洁净室地面种类
（1）架空地板。架空地板又称活动地板，是典型的垂直单向无尘室用地板。架空地板的特点是：地面可以回风，透气性好，造，弹性差，
（2）水磨石地面。水磨石地面的特点是光滑，不易产尘，整体性好，可冲洗，防静电，无弹性。所用嵌条的材质应视用户产品特点而定，如铜会污染显像管的荧光粉，改变其发光特性，所以显像管厂不能用铜质嵌条。
（3）涂料地面。涂料地面的特点是：具有水磨石地面的优点，耐磨，密封性好，有弹性，施工复杂。 涂料地面常用的材料有：环氧树脂、聚酯树脂、聚氨酯树脂、调色用颜料、硬化剂。水泥砂浆基底的水泥标号不低于425号。
（4）卷材板材地面。卷材板材地面的特点是：光滑，耐磨，略有弹性，不易起尘，易清洗，易产生静电，受紫外线照射易使板材老化，施工简单，同时，由于板材与混凝土基层伸缩性不同，大面积应用可能会起壳。卷材板材常用的材料大多是以聚氯乙烯树脂为主体的塑料，以聚氯乙烯为表层、无机填料为里层构成。
洁净室墙面
1、一般要求：墙面的一般要求为：表面平整光滑，不起尘，避免炫光，便于清洁，减少凹凸面，转角处容易用圆弧材料或密封材料处理。
2、彩钢夹芯复合板墙面：无尘室不易采用砌筑墙抹灰墙面，因为即使是抹灰墙面，也很难墙面的整体光滑平整，且在墙面转角处难于用圆弧材料处理。在无尘室的建筑装饰中，普遍使用的是彩钢夹心板，其曾大于用于“装配式无尘室”的施工，如今已大量使用于无尘室墙面和吊顶的施工。
洁净室门窗
无尘室门窗是围护结构的一个组成部分，除了有气密性的要求外，还与墙面一样，要求表面平整光滑、不积尘。双层玻璃窗的玻璃应分别与内外墙面平齐，单层玻璃窗用金属压条时，应将金属压条做成圆弧形或有一定的坡度，以便于清洁，不易设窗台。
门窗的密封材料有橡胶条、硅橡胶、密封胶及单、双面压敏胶条等。
门窗的缝隙大致有固定缝隙和活动缝隙两类。固定缝隙如固定窗的缝隙比较容易处理，可以采用“一劳永逸”的密封材料；活动缝隙如门扇与门框的缝隙就不能像固定缝隙那样加以处理，要根据门扇的材质、质量、开启频度、是否设有门槛、是否与外气直接相通等情况，从门扇、门框、五金材料、密封条以及其作用方式等方面综合考虑，并预先作相应的设计。
密封嵌缝材料
对密封嵌缝材料的一般要求时：密封性能好，有一定弹性，不易老化，容易凝结、固话、容易施工，有一定的粘着力，，无味，色泽外观与装饰协调，并且尽可能使用单组分材料。半导体工厂中使用的密封胶不应影响产品的良品率。
主要密封胶种类：
（1）硅橡胶类特点：橡胶具有广泛的适应温区，耐药性、耐油性君豪，但不耐苛性碱，有时可能发霉。
（2）聚氨酯类特点：聚氨酯的特点是硬度高，弹性好，低温性能好，耐油和臭氧，但耐水性较差。
（3）橡胶类特点：橡胶的特点是弹性，耐药性，耐水性，，耐油性和耐久性都较好。
特征描述
1.洁净室是空气的洁净度达到一定级别的可供人活动的空间，其功能是能控制微粒和微生物的污染。
2. 洁净室是一个多功能的综合整体，需要多配合-建筑、空调、净化、纯水、纯气等。
3. 评价洁净室的质量，设计、施工和运行管理都很重要，即洁净室是通过从设计到管理的全工程来体现质量的。
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