氧化锌铝靶材

AZO是铝掺杂的氧化锌(ZnO)透明导电玻璃的简称。制备AZO薄膜的方法有很多种，主要有磁控溅射法、金属有机物化学气相沉积法、脉冲激光沉积法、喷雾热分解法、分子束外延法及溶胶一凝胶法等。其中，磁控溅射法制AZO薄膜具有较高的沉积速率、低的衬底温度和良好的衬底粘附性等优点而被广泛的应用。磁控溅射就是以磁场束缚和延长电子的运动路径，改变电子的运动方向，提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量。因而具有沉积速率高、基片沉积温度低、成膜粘附性好、易控制、成本低，能实现大面积制膜的优点，成为当今工业化生产、研究多、成熟、应用广的一项成膜技术，也是AZO薄膜制备中常用的方法。AZO薄膜已经在平板显示器和薄膜太阳能电池中得到了部分应用