氧化钇稳定氧化锆YSZ靶材

指高温超导薄膜的单晶基片ZrO2（YSZ）。
高温超导薄膜的单晶基片ZrO2(YSZ)，即氧化锆（ZrO2）由于ZrO2单晶需掺入钇（Y）以稳定其结构， 一般实际使用的是YSZ单晶――加入钇稳定剂的氧化锆单晶。高温超导薄膜的单晶基片ZrO2（YSZ）具有低的介电常数和介电损耗，与YBCO有良好的晶格匹配.与LaAlO3晶体(～500℃)相比，NdAlO3晶体具有相变温度高(>1500℃)的优点。
这样有利于YBCO薄膜的外延生长，采用感应加热提拉法生长NdAlO3晶体，铱坩锅尺寸，60×55mm，拉速1～3mm/h，转速10～30r/min，气氛N2，次生长采用LaAlO3晶体作为籽晶,<001>方向生长，生长出尺寸25×60mm的无云层、无气泡、无开裂，质量优良的NdAlO3晶体