高纯度碳化硅悬臂桨碳化硅扩散桨碳化硅圆棒

反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨
产品概要： 悬臂桨，是半导体晶圆装载系统的关键部件。KCE®系列反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨性能稳定，在高温环境不变形，晶圆装载量大，适用于机器人自动装载和搬运系统，且其截面稳定不变形，使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。加之与LPCVD涂层的热膨胀系数相近，应用于LPCVD，可地延长维护清洗周期，并大幅减少污染物。
碳化硅悬臂桨、碳化硅扩散桨、碳化硅桨强度好及其材质特性，碳化硅悬臂浆，扩散桨，碳化硅桨性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载力大，适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂浆截面稳定不变形，使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。潍坊百德机械设备有限公司生产的碳化硅悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近，应用于LPCVD，地延长了维护清洗的周期，并大幅减少污染物。