比如清洗剂的浓度,特别在使用在线通过式喷淋清洗工艺,清洗剂的浓度因为设备条件原因,会产生很大的变化,清洗剂在清洗机使用当中会产生气雾损失、带离损失,特别是气雾损失占比比较大,因为水基清洗剂中含大比例的水和其他组成成分,在一定温度下会产生挥发现象,挥发的比例,因为清洗剂品种不同而产生很大的差异,这样就需要严格控制清洗剂的浓度,才能清洗条件的准确,在线通过式清洗工艺中实现清洗剂在线的浓度检测是非常有必要的,监测和控制清洗剂使用中的浓度,并进行及时的调整,使清洗剂的浓度在可控的数据范围。
只有将各类工艺条件和参数,控制在确定的范围,才能终的清洗结果是理想的预期值。
关于清洗干净度,应特别关注芯片底部、器件底部残留物的清除状况,只有将micro gap的残留物清除才可真正实现残留物的完全清除而达到干净度的高要求。
清洗干净度的评价和评估
往往采取两个方式:1.裸眼经40~100倍的显微放大观察清洗物表面残余物的状况,以见不到残余物为评判依据。2.使用表面离子污染度检测方式对被清洗物表面进行检测,以检测的数据比照技术指标要求评价。在实际生产应用中,特别关注低托高,micro gap。比如说在器件底部,包括Chip件、QFN底部,芯片或者是倒装芯片底部残留物的去除状况。往往当这些底部的残余物能够有效去除,那么其他部位的残余物也应可以评判为完全去除。QFM和芯片底部采用机械方式打开,观测底部残留物的状况来评判干净度,为了达到Micro gap的托高底部的残留物清除,清洗剂物理化学特性(比方说表面张力)和清洗设备喷淋的角度、压力、方向以及喷淋的时间温度都对底部清除污垢有很大的影响度