日用陶瓷镀膜设备主要用于瓷砖,日用陶瓷,工艺陶瓷等离子镀膜,
电源类型:电弧电源, 灯丝电源,直流中频电源,脉冲偏压电源
真空系统:机械泵+罗茨泵+扩散泵+维持泵
极限真空:6.0X 10 -4pa
备注:真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求
溅射磁控溅射镀膜设备溅射镀膜有多种方式:可分为直流二级溅射,直流三级溅射,直流四级溅射,磁控溅射等,为适应制作各种薄膜的要求所做的进一步改进,反应溅射就是在Ar中加入反应气体,如:N2 O2 CH4 C2H2 等可制备靶材料的氮化物,氧化物,碳化物等化合物薄膜
空心阴极离子镀成膜条件:空心阴极枪选材:空心阴极枪的枪体选用难溶的金属W , Mo Ta 制作,空心阴极枪采用坩管制作,若弧电流为 50—80 A ,则要选用内径为6-8mm。长度为80-120mm 壁厚为1-3mm 的坩管制作空心阴极枪,若弧电流为300A左右,则要采用内径为15mm长度为150-200mm 的坩管制作空心阴极电子枪