| 测量项目 |
| 测量项目 | 点、直线、圆、部分圆、椭圆、圆弧处理（圆弧半径、圆心距、圆心到直线的距离、 交点到圆心的距离等）、 高点、 低点、距离、角度处理（坐标夹角、直线夹角）、
直线度、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、水平距、凸度（对数曲线）、轮廓度等参数
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| 测量范围 |
X轴（横导轨）
| 100mm |
| Z1轴（传感器） | 40mm |
| Z轴（立柱） | 400mm |
| 测量精度 |
| X轴(L=X轴导轨移动距离) | ±(1.2+L/300)μm |
| Z1轴(H=Z1轴方向测量高度) | ±(1.2+6H/100) μm |
| X轴水平臂 |
| 直线度 | 0.15μm/60mm |
| 光栅分辨率 | 0.1μm |
| 光栅产地 | 进口 |
| Z1轴传感器 |
| 分辨率 | 0.1μm |
| 传感器类型 | 光栅传感器 |
| 产地 | 进口 |
| 移动方向 | 前/后 双方向 |
| 测力 | 0.5-6g |
| 测针针尖 | 硬质合金 R：0.05mm、0.01mm |
| 爬坡角度 | 上升77度 下降88度 |
| 速度 |
| 测量速度 | 0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8个) |
| 定位速度 | 0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8个) |
| 图形放大/缩小 |
| 图形放大 | 可任意缩小、放大 |
| 综合调整台 |
| A型综合调整台 | X轴水平倾斜调整范围：±30°，Y轴方向调整范围：±7.5mm，Z轴回转可调360度（带微调装置） |
| B型综合调整台 | X轴水平倾斜调整范围：0-60°，Yθ1：0-1.5度，Zθ1：0-2.5度，Zθ2：0-1.5度 |
| 安装要求 |
| 电源 | 220-240V AC, 50HZ，单地线； 功率消耗450W |
| 压缩空气 | 纯净压缩空气：气压0.4MP，消耗0.1m3 /min （气源供给0.6MP，0.25m3 /min以上） |
| 环境要求 | 工作温度：10°-30°（常温）；湿度20-80RH（无结露），良好地线，无明显振源 |
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