实验室小型离子磁控溅射仪直流溅射金银铜铬镍钛镁喷金仪

实验室小型离子 磁控溅射仪 直流溅射 金银铜铬镍 钛镁 喷金仪
小型直流磁控溅射仪，
离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体